കാർബൺ ടെട്രാഫ്ലൂറൈഡ് എന്നും അറിയപ്പെടുന്ന ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ ഏറ്റവും ലളിതമായ ഫ്ലൂറോകാർബൺ (CF4) ആണ്.കാർബൺ-ഫ്ലൂറിൻ ബോണ്ടിന്റെ സ്വഭാവം കാരണം ഇതിന് വളരെ ഉയർന്ന ബോണ്ടിംഗ് ശക്തിയുണ്ട്.ഇതിനെ ഹാലോആൽക്കെയ്ൻ അല്ലെങ്കിൽ ഹാലോമീഥെയ്ൻ എന്നിങ്ങനെയും തരംതിരിക്കാം.ഒന്നിലധികം കാർബൺ-ഫ്ലൂറിൻ ബോണ്ടുകളും ഫ്ലൂറിനിലെ ഏറ്റവും ഉയർന്ന ഇലക്ട്രോനെഗറ്റിവിറ്റിയും കാരണം, ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേനിലെ കാർബണിന് കാര്യമായ പോസിറ്റീവ് ഭാഗിക ചാർജ് ഉണ്ട്, ഇത് അധിക അയോണിക് സ്വഭാവം നൽകിക്കൊണ്ട് നാല് കാർബൺ-ഫ്ലൂറിൻ ബോണ്ടുകളെ ശക്തിപ്പെടുത്തുകയും ചെറുതാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ ഒരു ശക്തമായ ഹരിതഗൃഹ വാതകമാണ്.
ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥേൻ ചിലപ്പോൾ കുറഞ്ഞ താപനിലയുള്ള റഫ്രിജറന്റായി ഉപയോഗിക്കാറുണ്ട്.സിലിക്കൺ, സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ്, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് എന്നിവയ്ക്കുള്ള പ്ലാസ്മ എച്ചാൻറായി ഇത് ഇലക്ട്രോണിക്സ് മൈക്രോഫാബ്രിക്കേഷനിൽ മാത്രമോ ഓക്സിജനുമായി സംയോജിപ്പിച്ചോ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
കെമിക്കൽ ഫോർമുല | CF4 | തന്മാത്രാ ഭാരം | 88 |
CAS നമ്പർ. | 75-73-0 | EINECS നമ്പർ. | 200-896-5 |
ദ്രവണാങ്കം | -184℃ | ബോളിംഗ് പോയിന്റ് | -128.1℃ |
ദ്രവത്വം | വെള്ളത്തിൽ ലയിക്കാത്തത് | സാന്ദ്രത | 1.96g/cm³ (-184℃) |
രൂപഭാവം | നിറമില്ലാത്ത, മണമില്ലാത്ത, തീപിടിക്കാത്ത, കംപ്രസ്സബിൾ വാതകം | അപേക്ഷ | വിവിധ ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾക്കായി പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ലേസർ ഗ്യാസ്, റഫ്രിജറന്റ് മുതലായവയായും ഉപയോഗിക്കുന്നു. |
DOT ഐഡി നമ്പർ | UN1982 | ഡോട്ട്/ഐഎംഒ ഷിപ്പിംഗ് പേര്: | ടെട്രാഫ്ലൂറോമീഥെയ്ൻ, കംപ്രസ്ഡ് അല്ലെങ്കിൽ റഫ്രിജറന്റ് ഗ്യാസ് R14 |
DOT ഹസാർഡ് ക്ലാസ് | ക്ലാസ് 2.2 |
ഇനം | മൂല്യം, ഗ്രേഡ് I | മൂല്യം, ഗ്രേഡ് II | യൂണിറ്റ് |
ശുദ്ധി | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | പിപിഎംവി |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | പിപിഎംവി |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | പിപിഎംവി |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | പിപിഎംവി |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | പിപിഎംവി |
മറ്റ് ഫ്ലൂറോകാർബണുകൾ | ≤1.0 | ≤0.5 | പിപിഎംവി |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | പിപിഎംവി |
H2 | ≤1.0 | —— | പിപിഎംവി |
അസിഡിറ്റി | ≤0.1 | ≤0.1 | പിപിഎംവി |
മറ്റ് ഫ്ലൂറോകാർബണുകൾ സിയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു2F6സി3F8 |
കുറിപ്പുകൾ
1) മുകളിൽ സൂചിപ്പിച്ച എല്ലാ സാങ്കേതിക ഡാറ്റയും നിങ്ങളുടെ റഫറൻസിനുള്ളതാണ്.
2) കൂടുതൽ ചർച്ചകൾക്ക് ഇതര സ്പെസിഫിക്കേഷൻ സ്വാഗതം ചെയ്യുന്നു.