Ставка | Технички имот | ||
Чист кислород | Кислород со висока чистота | Ултрачист кислород | |
Кислород (O2) чистота (волуменски удел)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99,9999 |
Водород (H2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Содржина на аргон (Ar) (волуменски удел)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Азот (N2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Јаглерод диоксид (CO2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Вкупна содржина на јаглеводороди (волуменски удел) (пресметана со метан)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Вода (H2O) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Област на примена: главно се користи во подготовка на стандардна мешавина од гас, научни истражувања, производство на интегрирани кола и полупроводнички уреди и други области со високи барања за чистота на кислород.