Ставка | Технички имот |
Неон со висока чистота | |
Чистота на неон (Ne) (волуменски удел)/10-2≥ | 99.999 |
Содржина на хелиум (He) (волуменски удел)/10-6≤ | 6 |
Водород (H2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 1 |
Кислород+аргон (пресметано со кислород) (O2+Ar) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 1 |
Азот (N2) содржина (волуменски удел) zz/10-6≤ | 2 |
Содржина на јаглерод моноксид (CO) (волуменски удел)/10-6≤ | 0,2 |
Јаглерод диоксид (CO2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,2 |
Метан (CH4) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,1 |
Вода (H2O) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 2 |
Вкупна содржина на нечистотии (волуменски удел)/10-6≤ | 10 |