Ставка | Технички имот | ||
Ксенон со висока чистота GB/T5828-2006 | Ултрачист ксенон | ||
Чистота на ксенон (Xe) (волуменски удел)/10-2≥ | 99.999 | 99,9995 | 99,9999 |
Азот (N2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
Кислород (O2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 1,5 (О2+Ar) | 0,5 (О2+Ar) | 0,1 |
Содржина на аргон (Ar) (волуменски удел)/10-6≤ | 0,05 | ||
Водород (H2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Содржина на јаглерод моноксид (CO) (волуменски удел)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 (CO2+CO22) |
Содржина на јаглерод диоксид (CO2) (волуменски удел)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Метан (CH4) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Вода (H2O) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Содржина на криптон (Kr) (волуменски удел)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Азотен оксид (N2O) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Флуор (C2F6) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Флуорид (SF6) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | Н/А | Н/А | 0,05 |
Области на примена: главно се користи во полупроводничката индустрија, воздухопловството, индустријата за електрични извори на светлина, медицински третман, електричен вакуум, истражување на темна материја, ласер и други области.