Tetrafluoromethane, fantatra ihany koa amin'ny hoe carbon tetrafluoride, no fluorocarbon tsotra indrindra (CF4).Manana tanjaky ny fifamatorana avo dia avo izy io noho ny toetran'ny fifamatorana karbônina-fluorine.Azo sokajiana ho haloalkana na halomethane koa izy io.Noho ny fatoran'ny karbaona-fluorine marobe, ary ny elektrônegativity avo indrindra amin'ny fluorine, ny karbaona ao amin'ny tetrafluoromethane dia manana fiampangana ampahany tsara izay manamafy sy manafohy ny fatorana karbônina-fluorine efatra amin'ny fanomezana toetra ionic fanampiny.Tetrafluoromethane dia entona mampidi-doza mahery vaika.
Tetrafluoromethane dia ampiasaina ho toy ny refrigerant ambany hafanana.Izy io dia ampiasaina amin'ny microfabrication elektronika irery na miaraka amin'ny oksizenina ho toy ny etchant plasma ho an'ny silisiôma, dioksida silisiôma ary nitride silisiôma.
Formula simika | CF4 | lanja molekiola | 88 |
CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
Taona mitsonika | -184 ℃ | Boling point | -128,1 ℃ |
solubility | Tsy mety levona anaty rano | hakitroky | 1,96g/cm³(-184℃) |
Bika Aman 'endrika | Entona tsy misy loko, tsy misy fofona, tsy mirehitra, azo compressible | Fampiharana | ampiasaina amin'ny fizotry ny etching plasma ho an'ny circuit integrated isan-karazany, ary ampiasaina koa ho toy ny entona laser, refrigerant sns. |
DOT ID laharana | UN1982 | DOT/IMO ANARAN'NY Fandefasana: | Tetrafluoromethane, entona voapotsitra na fampangatsiahana R14 |
DOT kilasy loza | Kilasy 2.2 |
zavatra | Sanda, kilasy I | Sanda, kilasy II | Unit |
fahadiovana | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Fluorocarbon hafa | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
asidra | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
* fluorocarbon hafa dia manondro ny C2F6、C3F8 |
-tsoratra
1) Ny angon-drakitra ara-teknika rehetra voalaza etsy ambony dia natao ho anao.
2) Ny fanondroana hafa dia raisina ho an'ny fifanakalozan-kevitra fanampiny.