Prece | Tehniskais īpašums | ||
Augstas tīrības pakāpes ksenons GB/T5828-2006 | Īpaši tīrs ksenons | ||
Ksenona (Xe) tīrība (tilpuma daļa)/10-2≥ | 99.999 | 99,9995 | 99,9999 |
Slāpeklis (N2) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0,2 |
Skābeklis (O2) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 1,5 (O2+Ar) | 0,5 (O2+Ar) | 0,1 |
Argona (Ar) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 0,05 | ||
Ūdeņradis (H2) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Oglekļa monoksīda (CO) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 (CO2+CO22) |
Oglekļa dioksīda (CO2) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Metāns (CH4) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Ūdens (H2O) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Kriptona (Kr) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Slāpekļa oksīds (N2O) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Fluorīds (C2F6) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Fluorīds (SF6) saturs (tilpuma daļa)/10-6≤ | Nav pieejams | Nav pieejams | 0,05 |
Pielietojuma jomas: galvenokārt izmanto pusvadītāju rūpniecībā, aviācijā, elektriskās gaismas avotu rūpniecībā, medicīnā, elektriskajā vakuumā, tumšās matērijas pētījumos, lāzeros un citās jomās