Tetrafluormetāns, pazīstams arī kā oglekļa tetrafluorīds, ir vienkāršākais fluorogļūdeņradis (CF4).Tam ir ļoti augsta saķeres izturība oglekļa-fluora saites rakstura dēļ.To var arī klasificēt kā halogēnalkānu vai halometānu.Daudzo oglekļa-fluora saišu un fluora augstākās elektronegativitātes dēļ tetrafluormetānā esošajam ogleklim ir ievērojams pozitīvs daļējs lādiņš, kas stiprina un saīsina četras oglekļa-fluora saites, nodrošinot papildu jonu raksturu.Tetrafluormetāns ir spēcīga siltumnīcefekta gāze.
Tetrafluormetānu dažreiz izmanto kā zemas temperatūras aukstumaģentu.To izmanto elektronikas mikroražošanā atsevišķi vai kopā ar skābekli kā silīcija, silīcija dioksīda un silīcija nitrīda plazmas kodinātāju.
Ķīmiskā formula | CF4 | Molekulārais svars | 88 |
CAS Nr. | 75-73-0 | EINECS Nr. | 200-896-5 |
Kušanas punkts | -184 ℃ | Bolinga punkts | -128,1 ℃ |
šķīdība | Nešķīst ūdenī | Blīvums | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
Izskats | Bezkrāsaina, bez smaržas, nedegoša, saspiežama gāze | Pieteikums | izmanto plazmas kodināšanas procesā dažādām integrētajām shēmām, kā arī izmanto kā lāzergāzi, aukstumaģentu utt. |
DOT ID numurs | ANO1982 | DOT/IMO PIEGĀDES NOSAUKUMS: | Tetrafluormetāns, saspiesta vai aukstumnesēja gāze R14 |
DOT bīstamības klase | 2.2 klase |
Lieta | Vērtība, I pakāpe | Vērtība, II pakāpe | Vienība |
Tīrība | ≥ 99 999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Citi fluorogļūdeņraži | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Skābums | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*citi fluorogļūdeņraži attiecas uz C2F6、C3F8 |
Piezīmes
1) visi iepriekš norādītie tehniskie dati ir paredzēti jūsu uzziņai.
2) alternatīva specifikācija ir apsveicama turpmākai apspriešanai.