Tetrafluormetanas, taip pat žinomas kaip anglies tetrafluoridas, yra paprasčiausias fluorangliavandenilis (CF4).Dėl anglies ir fluoro jungties pobūdžio jis turi labai didelį sukibimo stiprumą.Jis taip pat gali būti klasifikuojamas kaip halogenalkanas arba halometanas.Dėl daugybės anglies ir fluoro ryšių ir didžiausio fluoro elektronegatyvumo tetrafluormetano anglis turi didelį teigiamą dalinį krūvį, kuris sustiprina ir sutrumpina keturis anglies ir fluoro ryšius suteikdamas papildomą joninį pobūdį.Tetrafluormetanas yra stiprios šiltnamio efektą sukeliančios dujos.
Tetrafluormetanas kartais naudojamas kaip žemos temperatūros šaltnešis.Jis naudojamas elektronikos mikrogamyboje vienas arba kartu su deguonimi kaip plazminis silicio, silicio dioksido ir silicio nitrido ėsdiklis.
Cheminė formulė | CF4 | Molekulinė masė | 88 |
CAS Nr. | 75-73-0 | EINECS Nr. | 200-896-5 |
Lydymosi temperatūra | -184 ℃ | Bolingo taškas | -128,1 ℃ |
tirpumas | Netirpus vandenyje | Tankis | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
Išvaizda | Bespalvės, bekvapės, nedegios, suspaudžiamos dujos | Taikymas | naudojamas plazminio ėsdinimo procese įvairioms integrinėms grandinėms, taip pat naudojamas kaip lazerio dujos, šaltnešis ir kt. |
DOT ID numeris | UN1982 m | DOT / IMO PRISTATYMO PAVADINIMAS: | Tetrafluormetanas, suslėgtos arba šaltnešio dujos R14 |
DOT pavojaus klasė | 2.2 klasė |
Prekė | Vertė, I klasė | Vertė, II laipsnis | Vienetas |
Grynumas | ≥ 99 999 | ≥ 99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Kiti fluorangliavandeniliai | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Rūgštingumas | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*kiti fluorangliavandeniliai reiškia C2F6、C3F8 |
Pastabos
1) visi aukščiau nurodyti techniniai duomenys yra skirti jums.
2) alternatyvi specifikacija yra sveikintina tolesniam aptarimui.