ຜະລິດຕະພັນ
ຄາບອນ Tetrafluoride
Tetrafluoromethane, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ tetrafluoride ຄາບອນ, ແມ່ນ fluorocarbon ທີ່ງ່າຍທີ່ສຸດ (CF4).ມັນມີຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດສູງຫຼາຍເນື່ອງຈາກລັກສະນະຂອງພັນທະບັດຄາບອນ-fluorine.ມັນຍັງສາມາດຖືກຈັດປະເພດເປັນ haloalkane ຫຼື halomethane.ເນື່ອງຈາກພັນທະບັດຄາບອນ-ຟໍລູຣິນຫຼາຍ, ແລະມີ electronegativity ສູງສຸດຂອງ fluorine, ຄາບອນໃນ tetrafluoromethane ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນທາງບວກທີ່ສໍາຄັນເຊິ່ງເສີມສ້າງຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຕັດພັນທະບັດກາກບອນ-fluorine ສີ່ໂດຍການສະຫນອງລັກສະນະ ionic ເພີ່ມເຕີມ.Tetrafluoromethane ແມ່ນອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວທີ່ມີທ່າແຮງ.
Tetrafluoromethane ບາງຄັ້ງໃຊ້ເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ໍາ.ມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນ microfabrication ເອເລັກໂຕຣນິກຢ່າງດຽວຫຼືປະສົມປະສານກັບອົກຊີເຈນທີ່ເປັນ etchant plasma ສໍາລັບຊິລິໂຄນ, ຊິລິໂຄນ dioxide, ແລະ silicon nitride.
| ສູດເຄມີ | CF4 | ນ້ຳໜັກໂມເລກຸນ | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| ຈຸດລະລາຍ | -184 ອົງສາ | ຈຸດໂບລິງ | -128.1℃ |
| ການລະລາຍ | ບໍ່ລະລາຍໃນນ້ຳ | ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 1.96g/cm³ (-184 ℃) |
| ຮູບລັກສະນະ | ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີ, ບໍ່ມີກິ່ນ, ບໍ່ຕິດໄຟ, ບີບອັດ | ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ | ໃຊ້ໃນຂະບວນການ plasma etching ສໍາລັບວົງຈອນປະສົມປະສານຕ່າງໆ, ແລະຍັງຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອາຍແກັສ laser, refrigerant ແລະອື່ນໆ. |
| ໝາຍເລກ DOT ID | ສະຫະປະຊາຊາດ 1982 | ຊື່ການຈັດສົ່ງ DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, ອາຍແກັສບີບອັດຫຼື Refrigerant R14 |
| ປະເພດອັນຕະລາຍ DOT | ຫ້ອງຮຽນ 2.2 |
| ລາຍການ | ມູນຄ່າ, ຊັ້ນ I | ມູນຄ່າ, ຊັ້ນ II | ໜ່ວຍ |
| ຄວາມບໍລິສຸດ | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| fluorocarbons ອື່ນໆ | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| ຄວາມເປັນກົດ | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| * fluorocarbons ອື່ນ ໆ ອ້າງເຖິງ C2F6, ຄ3F8 | |||
ບັນທຶກ
1) ຂໍ້ມູນດ້ານວິຊາການທັງຫມົດທີ່ລະບຸໄວ້ຂ້າງເທິງແມ່ນສໍາລັບການອ້າງອີງຂອງທ່ານ.
2) ເງື່ອນໄຂທາງເລືອກແມ່ນຍິນດີຕ້ອນຮັບການສົນທະນາຕື່ມອີກ.
