Produkter
Kuelestofftetrafluorid
Tetrafluoromethan, och bekannt als Kuelestofftetrafluorid, ass den einfachsten Fluorocarbon (CF4).Et huet eng ganz héich Bindungsstäerkt wéinst der Natur vun der Kuelestoff-Fluorbindung.Et kann och als Haloalkan oder Halomethan klasséiert ginn.Wéinst de multiple Kuelestoff-Fluorbindungen, an der héchster Elektronegativitéit vu Fluor, huet de Kuelestoff am Tetrafluormethan eng bedeitend positiv partiell Ladung, déi déi véier Kuelestoff-Fluorbindungen stäerkt a verkierzt andeems se zousätzlech ionesche Charakter ubidden.Tetrafluoromethan ass e mächtege Treibhausgas.
Tetrafluoromethan gëtt heiansdo als Kältemëttel mat niddregen Temperaturen benotzt.Et gëtt an der Elektronik Mikrofabrizéierung eleng oder a Kombinatioun mat Sauerstoff benotzt als Plasma Ätzmëttel fir Silizium, Siliziumdioxid a Siliziumnitrid.
| Chemesch Formel | CF4 | Molekulare Gewiicht | 88 |
| CAS Nr. | 75-73-0 | EINECS Nr. | 200-896-5 |
| Schmëlzpunkt | -184 ℃ | Boling Punkt | -128.1 ℃ |
| Solubilitéit | Onopléisbar am Waasser | Dicht | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Ausgesinn | E faarwege, Gerochlosen, net brennbaren, kompriméierbare Gas | Applikatioun | benotzt am Plasma Ätzprozess fir verschidden integréiert Kreesleef, a benotzt och als Lasergas, Kältemëttel etc. |
| DOT ID Zuel | UN 1982 | DOT/IMO SHIPPING NAME: | Tetrafluormethan, Kompriméiert oder Kältegas R14 |
| DOT Gefor Klass | Klass 2.2 |
| Artikel | Wäert, Klass I | Wäert, Klass II | Eenheet |
| Rengheet | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0.2 | ppmv |
| Aner Fluorcarbonen | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Aciditéit | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *aner Fluorcarbone bezéien sech op C2F6, C3F8 | |||
Notizen
1) all d'technesch Donnéeën uewen uginn sinn fir Är Referenz.
2) Alternativ Spezifizéierung ass wëllkomm fir weider Diskussioun.
