목 | 기술적 속성 | ||
순수 질소 | 고순도 질소 | 초순수 질소 | |
질소(N2) 순도(부피분율)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
산소(O2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
아르곤(Ar) 함량(부피 분율)/10-6≤ | - | - | 2 |
수소(H2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
일산화탄소(CO) 함량(부피분율)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
이산화탄소(CO2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
메탄(CH4) 함량(부피분율)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
물(H2O) 함량(부피분율)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |