안건 | 기술적 재산 |
고순도 네온 | |
네온(Ne) 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.999 |
헬륨(He) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 6 |
수소(H2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 1 |
산소+아르곤(산소로 계산)(O2+Ar) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 1 |
질소(N2) 함량(부피 분율) zz/10-6≤ | 2 |
일산화탄소(CO) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.2 |
이산화탄소(CO2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.2 |
메탄(CH4) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.1 |
물(H2O) 함량(부피분율)/10-6≤ | 2 |
총 불순물 함량(부피 분율)/10-6≤ | 10 |