제품
고순도 제논 및 초순도 제논(Xe: 5N, 5.5N, 6N)
| 목 | 기술적 속성 | ||
| 고순도 제논 GB/T5828-2006 | 초순수 제논 | ||
| 제논(Xe) 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| 질소(N2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| 산소(O2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 1.5(O2+아르) | 0.5(O2+아르) | 0.1 |
| 아르곤(Ar) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.05 | ||
| 수소(H2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| 일산화탄소(CO) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| 이산화탄소(CO2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| 메탄(CH4) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| 물(H2O) 함량(부피분율)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| 크립톤(Kr) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| 아산화질소(N2O) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| 불화물(C2F6) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| 불화물(SF6) 함량(부피분율)/10-6≤ | 해당 없음 | 해당 없음 | 0.05 |
응용분야 : 주로 반도체 산업, 항공우주, 전기광원 산업, 의료, 전기진공, 암흑물질 연구, 레이저 등 다양한 분야에 활용
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