목 | 기술적 속성 | ||
고순도 크립톤 GB/T5829-2006 | 초순수 크립톤 | ||
Kr 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
질소(N2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 2 | 1.5 | 0.2 |
산소(O2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 1.5(O2+아르) | 0.5(O2+아르) | 0.1 |
아르곤(Ar) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.05 | ||
수소(H2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.5 | 0.2 | 0.05 |
일산화탄소(CO) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
이산화탄소(CO2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.4 | 0.1 | 0.05 |
메탄(CH4) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
물(H2O) 함량(부피분율)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
제논(Xe) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
불화물(CF)4) 함량(부피분율)/10-6≤ | 1 | 0.2 | 0.05 |
응용분야 : 주로 반도체 산업, 전기진공 산업, 전기광원 산업, 레이저가스, 의료건강 등 다양한 분야에 활용