목 | 기술적 속성 |
아르곤(Ar) 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.999 |
수소(H2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.5 |
산소(O2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 1.5 |
질소(N2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 4 |
메탄(CH4) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.4 |
일산화탄소(CO) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.3 |
이산화탄소(CO2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.3 |
물(H2O) 함량(부피분율)/10-6≤ | 3 |
참고: 액체 아르곤은 수분 함량을 감지하지 못합니다. |