제품
전자 헬륨
| 목 | 기술적 속성 |
| 고순도 헬륨 | |
| 헬륨 He 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.999 |
| 네온(Ne) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 4 |
| 수소(H2) 함량(부피분율)/10-6 ≤ | 1 |
| 산소(O2) 함량(부피분율)/10-6 ≤ | 1 |
| 아르곤(Ar) 함량(부피 분율)/10-6 ≤ | |
| 질소(N2) 함량(부피분율)/10-6 ≤ | 2 |
| 일산화탄소(CO) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.5 |
| 이산화탄소(CO2) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.5 |
| 메탄(CH4) 함량(부피분율)/10-6≤ | 0.5 |
| 물 H2O 함량(부피 분율)/10-6≤ | 3 |
| 총 잡지 내용/10-6≤ | 10 |
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