제품
사불화탄소
사불화탄소라고도 알려진 테트라플루오로메탄은 가장 단순한 플루오로카본(CF4)입니다.탄소-불소 결합의 특성으로 인해 결합 강도가 매우 높습니다.할로알케인 또는 할로메탄으로 분류될 수도 있습니다.다중 탄소-불소 결합과 불소의 가장 높은 전기음성도 때문에 테트라플루오로메탄의 탄소는 추가적인 이온 특성을 제공하여 4개의 탄소-불소 결합을 강화하고 단축하는 상당한 양의 부분 전하를 갖습니다.테트라플루오로메탄은 강력한 온실가스입니다.
테트라플루오로메탄은 때때로 저온 냉매로 사용됩니다.이는 전자 미세 가공에 단독으로 사용되거나 실리콘, 이산화규소 및 질화규소에 대한 플라즈마 식각액으로 산소와 함께 사용됩니다.
| 화학식 | CF4 | 분자 무게 | 88 |
| CAS 번호 | 75-73-0 | EINECS 번호 | 200-896-5 |
| 녹는 점 | -184℃ | 볼링 포인트 | -128.1℃ |
| 용해도 | 물에 불용성 | 밀도 | 1.96g/cm3(-184℃) |
| 모습 | 무색, 무취, 불연성, 압축성 가스 | 애플리케이션 | 각종 집적회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용되며, 레이저 가스, 냉매 등으로도 사용됩니다. |
| DOT ID 번호 | UN1982 | DOT/IMO 배송 이름: | 테트라플루오로메탄, 압축 또는 냉매 가스 R14 |
| DOT 위험 등급 | 클래스 2.2 |
| 안건 | 가치, 등급 I | 가치, 등급 II | 단위 |
| 청정 | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| 기타 탄화불소 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| 신맛 | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *기타 플루오로카본은 C를 의미함2F6,씨3F8 | |||
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