ಐಟಂ | ತಾಂತ್ರಿಕ ಆಸ್ತಿ | ||
ಶುದ್ಧ ಆಮ್ಲಜನಕ | ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಆಮ್ಲಜನಕ | ಅಲ್ಟ್ರಾಪ್ಯೂರ್ ಆಮ್ಲಜನಕ | |
ಆಮ್ಲಜನಕ (O2) ಶುದ್ಧತೆ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-2≥ ≥ ಗಳು | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (H2) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 1 | 0.5 | 0.1 |
ಆರ್ಗಾನ್ (Ar) ಅಂಶ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 10 | 2 | 0.2 |
ಸಾರಜನಕ (N2) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 20 | 5 | 0.1 |
ಇಂಗಾಲದ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ (CO2) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 1 | 0.5 | 0.1 |
ಒಟ್ಟು ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್ ಅಂಶ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ) (ಮೀಥೇನ್ನಿಂದ ಲೆಕ್ಕಹಾಕಲಾಗಿದೆ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 2 | 0.5 | 0.1 |
ನೀರು (ಎಚ್2O) ವಿಷಯ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 3 | 2 | 0.5 |
ಅನ್ವಯಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರ: ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಮಾಣಿತ ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣದ ತಯಾರಿಕೆ, ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕದ ಶುದ್ಧತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.