ស្ពាន់ធ័រ Hexafluoride(SF6) គឺជាឧស្ម័នអសរីរាង្គ គ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន និងមិនងាយឆេះ។ការប្រើប្រាស់ចម្បងរបស់ SF6 គឺនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអគ្គិសនីជាឧបករណ៍ផ្ទុក dielectric ឧស្ម័នសម្រាប់ឧបករណ៍បំលែងសៀគ្វីតង់ស្យុងផ្សេងៗ ឧបករណ៍ប្តូរ និងឧបករណ៍អគ្គិសនីផ្សេងទៀត ដែលជារឿយៗជំនួសឧបករណ៍បំលែងសៀគ្វីដែលបំពេញដោយប្រេង (OCBs) ដែលអាចផ្ទុក PCBs ដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់។ឧស្ម័ន SF6 នៅក្រោមសម្ពាធត្រូវបានប្រើជាអ៊ីសូឡង់នៅក្នុងឧបករណ៍ប្តូរឧស្ម័នដែលមានអ៊ីសូឡង់ (GIS) ព្រោះវាមានកម្លាំង dielectric ខ្ពស់ជាងខ្យល់ឬអាសូតស្ងួត។ទ្រព្យសម្បត្តិនេះធ្វើឱ្យវាអាចកាត់បន្ថយទំហំនៃឧបករណ៍អគ្គិសនីយ៉ាងខ្លាំង។
រូបមន្តគីមី | SF6 | លេខ CAS | ២៥៥១-៦២-៤ |
រូបរាង | ឧស្ម័នគ្មានពណ៌ | ម៉ាស់ម៉ូលជាមធ្យម | 146.05 ក្រាម / mol |
ចំណុចរលាយ | -៦២ អង្សាសេ | ទម្ងន់ម៉ូលេគុល | ១៤៦.០៥ |
ចំណុចរំពុះ | -៥១ អង្សាសេ | ដង់ស៊ីតេ | 6.0886 គីឡូក្រាម/cbm |
ភាពរលាយ | ងាយរលាយ |
ស្ពាន់ធ័រ hexafluoride (SF6) ជាធម្មតាមាននៅក្នុងស៊ីឡាំង និងធុងស្គរ។វាត្រូវបានគេប្រើជាធម្មតានៅក្នុងឧស្សាហកម្មមួយចំនួនរួមមាន:
1) ថាមពល និងថាមពល៖ ប្រើប្រាស់ជាចម្បងជាឧបករណ៍ផ្ទុកអ៊ីសូឡង់សម្រាប់ឧបករណ៍អគ្គិសនី និងអេឡិចត្រូនិចដែលមានតង់ស្យុងខ្ពស់ជាច្រើនដូចជា ឧបករណ៍បំលែងសៀគ្វី កុងតាក់ និងឧបករណ៍បង្កើនល្បឿនភាគល្អិត។
2) កញ្ចក់៖ អ៊ីសូឡង់បង្អួច - កាត់បន្ថយការបញ្ជូនសំឡេង និងការផ្ទេរកំដៅ។
3) ដែកនិងលោហធាតុ: នៅក្នុងការផលិតម៉ាញេស្យូមរលាយនិងអាលុយមីញ៉ូម។
4) គ្រឿងអេឡិចត្រូនិច៖ ស៊ុលហ្វួ hexafluoride ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ប្រើក្នុងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិក និង semiconductor ។
ធាតុ | ជាក់លាក់ | យូនីធី |
ភាពបរិសុទ្ធ | ≥ 99.999 | % |
O2+ អា | ≤2.0 | ppmv |
N2 | ≤2.0 | ppmv |
CF4 | ≤0.5 | ppmv |
CO | ≤0.5 | ppmv |
CO2 | ≤0.5 | ppmv |
CH4 | ≤0.1 | ppmv |
H2O | ≤2.0 | ppmv |
ហ្វ្លុយអូរីអ៊ីដ្រូលីស | ≤0.2 | ppm |
អាសុីត | ≤0.3 | ppmv |
កំណត់ចំណាំ
1) ទិន្នន័យបច្ចេកទេសទាំងអស់ដែលបានចង្អុលបង្ហាញខាងលើគឺសម្រាប់ជាឯកសារយោងរបស់អ្នក។
2) ការបញ្ជាក់ជំនួសត្រូវបានស្វាគមន៍សម្រាប់ការពិភាក្សាបន្ថែម។