Элемент | Техникалық мүлік | ||
Таза оттегі | Жоғары таза оттегі | Өте таза оттегі | |
Оттегі (О2) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99,995 | 99.999 | 99,9999 |
Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Аргон (Ar) құрамы (көлемдік үлес)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Көмірсутектердің жалпы мөлшері (көлемдік үлес) (метанмен есептелген)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Қолдану саласы: негізінен стандартты газ қоспасын дайындауда, ғылыми зерттеулерде, интегралдық схемалар мен жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде және оттегі тазалығына жоғары талаптар қоятын басқа салаларда қолданылады.