Элемент | Техникалық мүлік | ||
Таза азот | Жоғары таза азот | Өте таза азот | |
Азот (Н2) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99,9999 |
Оттегі (О2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Аргон (Ar) құрамы (көлемдік үлес)/10-6≤ | - | - | 2 |
Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |