Элемент | Техникалық мүлік | ||
Жоғары таза ксенон GB/T5828-2006 | Өте таза ксенон | ||
Ксенон (Xe) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99.999 | 99,9995 | 99,9999 |
Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
Оттегі (О2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1,5(О2+Ar) | 0,5(О2+Ar) | 0.1 |
Аргон (Ar) құрамы (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,05 | ||
Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0,05(CO+CO2) |
Көмірқышқыл газының (СО2) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0,05 |
Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Криптондық (Kr) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Азот оксиді (N2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0,05 |
Фторид (C2F6) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 | 0.1 | 0,05 |
Фторид (SF6) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | Жоқ | Жоқ | 0,05 |
Қолдану өрістері: негізінен жартылай өткізгіш өнеркәсібінде, аэроғарыш өнеркәсібінде, электр жарық көзі өнеркәсібінде, медициналық емдеуде, электр вакуумында, қараңғы заттарды зерттеуде, лазерде және басқа салаларда қолданылады.