Элемент | Техникалық мүлік |
Аргон (Ar) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99.999 |
Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 |
Оттегі (О2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1.5 |
Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 4 |
Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.4 |
Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.3 |
Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.3 |
Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 3 |
Ескертпе: Сұйық аргон ылғалдылықты анықтамайды |