Элемент | Техникалық мүлік |
Жоғары таза гелий | |
Helium He тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99.999 |
Неон (Ne) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 4 |
Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | 1 |
Оттегі (О2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | 1 |
Аргон (Ar) құрамы (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | |
Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | 2 |
Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 |
Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 |
Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 |
Су H2O мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 3 |
Жалпы журнал мазмұны/10-6≤ | 10 |