ტეტრაფტორმეთანი, ასევე ცნობილი როგორც ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი, არის უმარტივესი ფტორნახშირბადი (CF4).მას აქვს ძალიან მაღალი შემაკავშირებელი ძალა ნახშირბად-ფტორის ბმის ბუნების გამო.ის ასევე შეიძლება კლასიფიცირდეს როგორც ჰალოალკანი ან ჰალომეთანი.ნახშირბად-ფტორის მრავალჯერადი ბმისა და ფტორის უმაღლესი ელექტრონეგატიურობის გამო, ტეტრაფტორმეთანში ნახშირბადს აქვს მნიშვნელოვანი დადებითი ნაწილობრივი მუხტი, რომელიც აძლიერებს და ამოკლებს ნახშირბად-ფტორის ოთხ კავშირს დამატებითი იონური ხასიათის მიწოდებით.ტეტრაფტორმეთანი არის ძლიერი სათბურის გაზი.
ტეტრაფტორმეთანი ზოგჯერ გამოიყენება როგორც დაბალი ტემპერატურის გამაგრილებელი საშუალება.იგი გამოიყენება ელექტრონიკის მიკროფაბრიკაციაში ცალკე ან ჟანგბადთან ერთად, როგორც პლაზმური ეშანტი სილიციუმის, სილიციუმის დიოქსიდისა და სილიციუმის ნიტრიდისთვის.
ქიმიური ფორმულა | CF4 | Მოლეკულური წონა | 88 |
CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 წწ |
დნობის წერტილი | -184℃ | ბოლინგის წერტილი | -128.1℃ |
ხსნადობა | წყალში უხსნადი | სიმჭიდროვე | 1.96გ/სმ³(-184℃) |
გარეგნობა | უფერო, უსუნო, აალებადი, შეკუმშვადი გაზი | განაცხადი | გამოიყენება პლაზმური ოქროვის პროცესში სხვადასხვა ინტეგრირებული სქემებისთვის და ასევე გამოიყენება როგორც ლაზერული გაზი, გამაგრილებელი და ა.შ. |
DOT ID ნომერი | გაეროს 1982 წ | DOT/IMO მიწოდების სახელი: | ტეტრაფტორმეთანი, შეკუმშული ან გამაგრილებელი გაზი R14 |
DOT საშიშროების კლასი | კლასი 2.2 |
ელემენტი | ღირებულება, კლასი I | ღირებულება II კლასი | ერთეული |
სიწმინდე | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
სხვა ფტორნახშირბადები | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
მჟავიანობა | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*სხვა ფტორნახშირბადები ეხება C2F6, C3F8 |
შენიშვნები
1) ზემოთ მითითებული ყველა ტექნიკური მონაცემი არის თქვენი მითითებისთვის.
2) ალტერნატიული სპეციფიკაცია მისასალმებელია შემდგომი განხილვისთვის.