Tetrafluoromethane, uga dikenal minangka karbon tetrafluorida, minangka fluorokarbon (CF4) sing paling gampang.Iki nduweni kekuatan ikatan sing dhuwur banget amarga sifat ikatan karbon-fluorin.Bisa uga diklasifikasikake minangka haloalkana utawa halometana.Amarga akeh ikatan karbon-fluorin, lan keelektronegatifan paling dhuwur saka fluorine, karbon ing tetrafluoromethane nduweni muatan parsial positif sing signifikan sing nguatake lan nyepetake papat ikatan karbon-fluorin kanthi menehi karakter ionik tambahan.Tetrafluoromethane minangka gas omah kaca sing kuat.
Tetrafluoromethane kadhangkala dipigunakaké minangka refrigeran suhu rendah.Iki digunakake ing mikrofabrikasi elektronik piyambak utawa ing kombinasi karo oksigen minangka etchant plasma kanggo silikon, silikon dioksida, lan silikon nitrida.
Formula kimia | CF4 | Bobot molekul | 88 |
Nomer CAS | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
Titik lebur | -184 ℃ | Titik boling | -128,1 ℃ |
kelarutan | Ora larut ing banyu | Kapadhetan | 1,96g/cm³(-184℃) |
Penampilan | Gas sing ora ana warna, ora ana ambune, ora gampang kobong, bisa dikompres | Aplikasi | digunakake ing proses etsa plasma kanggo macem-macem sirkuit terpadu, lan digunakake uga minangka gas laser, refrigerant etc. |
Nomer ID DOT | UN1982 | DOT/IMO NAMA PENGIRIMAN: | Tetrafluoromethane, Compressed utawa Refrigerant Gas R14 |
Kelas Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
Item | Nilai, kelas I | Nilai, kelas II | Unit |
Kemurnian | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Fluorokarbon liyane | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
Kaasaman | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*fluorokarbon liyane deleng C2F6、C3F8 |
Cathetan
1) kabeh data teknis sing dituduhake ing ndhuwur kanggo referensi sampeyan.
2) spesifikasi alternatif olèh kanggo diskusi luwih.