アイテム | 技術的特性 |
高純度ネオン | |
ネオン(Ne)純度(体積分率)/10-2≥ | 99.999 |
ヘリウム(He)含有量(体積分率)/10-6≤ | 6 |
水素(H2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 1 |
酸素+アルゴン(酸素で計算)(O2+Ar)含有量(体積分率)/10-6≤ | 1 |
窒素(N2) 含有量 (体積分率) zz/10-6≤ | 2 |
一酸化炭素(CO)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.2 |
二酸化炭素 (CO2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.2 |
メタン (CH4)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.1 |
水(H2O)含有量(体積分率)/10-6≤ | 2 |
総不純物含有量(体積分率)/10-6≤ | 10 |