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四フッ化炭素
テトラフルオロメタンは、四フッ化炭素とも呼ばれ、最も単純なフルオロカーボン（CF4）です。炭素-フッ素結合の性質により、非常に高い結合強度を有します。ハロアルカンまたはハロメタンとしても分類されます。複数の炭素-フッ素結合とフッ素の最も高い電気陰性度により、テトラフルオロメタン中の炭素は大きな正の部分電荷を持ち、これがイオン性を与えることで4つの炭素-フッ素結合を強化または短縮します。テトラフルオロメタンは強力な温室効果ガスです。
テトラフルオロメタンは低温冷媒として使用されることがあります。電子機器の微細加工においては、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素のプラズマエッチング剤として、単独で、または酸素と組み合わせて使用されます。
| 化学式 | CF4 | 分子量 | 88 |
| CAS番号 | 75-73-0 | EINECS番号 | 200-896-5 |
| 融点 | -184℃ | 沸点 | -128.1℃ |
| 溶解度 | 水に溶けない | 密度 | 1.96g/cm³（-184℃） |
| 外観 | 無色、無臭、不燃性、圧縮性ガス | 応用 | 各種集積回路のプラズマエッチングプロセスに使用され、またレーザーガス、冷媒などとしても使用されます。 |
| DOT ID番号 | 国連1982 | DOT/IMO 出荷名: | テトラフルオロメタン、圧縮または冷媒ガスR14 |
| DOT危険度クラス | クラス2.2 |
| アイテム | 価値、グレードI | 価値、グレードII | ユニット |
| 純度 | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| その他のフルオロカーボン | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| 酸度 | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *その他のフルオロカーボンはC2F6、C3F8 | |||
注記
1) 上記の技術データはすべて参考用です。
2) さらなる議論のために代替仕様を歓迎します。
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