פריט | נכס טכני |
ניאון בטוהר גבוה | |
ניאון (Ne) טוהר (שבר נפח)/10-2≥ | 99.999 |
תכולת הליום (He) (שבר נפח)/10-6≤ | 6 |
מימן (H2) תוכן (שבר נפח)/10-6≤ | 1 |
חמצן+ארגון (מחושב על ידי חמצן) (O2+Ar) תוכן (שבר נפח)/10-6≤ | 1 |
חנקן (N2) תוכן (שבר נפח) zz/10-6≤ | 2 |
תכולת פחמן חד חמצני (CO) (חלק נפח)/10-6≤ | 0.2 |
פחמן דו חמצני (CO2) תוכן (שבר נפח)/10-6≤ | 0.2 |
מתאן (CH4) תוכן (שבר נפח)/10-6≤ | 0.1 |
מים (H2O) תוכן (שבר נפח)/10-6≤ | 2 |
סך תכולת הטומאה (שבר נפח)/10-6≤ | 10 |