מוצרים
פחמן טטרפלואוריד
טטרפלואורומתאן, הידוע גם בשם פחמן טטרפלואוריד, הוא הפחמן הפלואורי הפשוט ביותר (CF4).יש לו חוזק מליטה גבוה מאוד בשל אופי קשר הפחמן-פלואור.זה יכול גם להיות מסווג כהלואלקן או הלומתאן.בגלל קשרי הפחמן-פלואור המרובים, והאלקטרושליליות הגבוהה ביותר של פלואור, לפחמן ב-tetrafluoromethane יש מטען חלקי חיובי משמעותי שמחזק ומקצר את ארבעת קשרי הפחמן-פלואור על-ידי מתן אופי יוני נוסף.טטרפלואורומתאן הוא גז חממה חזק.
טטרפלואורומתאן משמש לעתים כחומר קירור בטמפרטורה נמוכה.הוא משמש בייצור מיקרו-אלקטרוניקה לבד או בשילוב עם חמצן כחומר תחריט פלזמה לסיליקון, סיליקון דו חמצני וסיליקון ניטריד.
| נוסחה כימית | CF4 | משקל מולקולרי | 88 |
| מס' CAS | 75-73-0 | מספר EINECS | 200-896-5 |
| נקודת המסה | -184℃ | נקודת בולט | -128.1℃ |
| מְסִיסוּת | לא מסיס במים | צְפִיפוּת | 1.96g/cm³（-184℃） |
| מראה חיצוני | גז חסר צבע, חסר ריח, לא דליק, דחוס | יישום | משמש בתהליך תחריט פלזמה עבור מעגלים משולבים שונים, ומשמש גם כגז לייזר, קירור וכו'. |
| מספר מזהה DOT | UN1982 | שם משלוח נקודה/IMO: | טטרפלואורומתאן, גז דחוס או קירור R14 |
| דרגת סיכון DOT | מחלקה 2.2 |
| פריט | ערך, כיתה א' | ערך, כיתה ב' | יחידה |
| טוֹהַר | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| פלואורוקרבונים אחרים | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| חוּמצִיוּת | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *פלואורופחמנים אחרים מתייחסים ל-C2F6、C3F8 | |||
הערות
1) כל הנתונים הטכניים המצוינים לעיל הם לעיונך.
2) מפרט חלופי יתקבל בברכה לדיון נוסף.
