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Tetrafluoruro di carbonio
Il tetrafluorometano, noto anche come tetrafluoruro di carbonio, è il fluorocarburo più semplice (CF4).Ha una forza di adesione molto elevata grazie alla natura del legame carbonio-fluoro.Può anche essere classificato come alogenoalcano o alometano.A causa dei molteplici legami carbonio-fluoro e della massima elettronegatività del fluoro, il carbonio nel tetrafluorometano ha una significativa carica parziale positiva che rafforza e accorcia i quattro legami carbonio-fluoro fornendo ulteriore carattere ionico.Il tetrafluorometano è un potente gas serra.
Il tetrafluorometano viene talvolta utilizzato come refrigerante a bassa temperatura.Viene utilizzato nella microfabbricazione elettronica da solo o in combinazione con l'ossigeno come agente di attacco al plasma per silicio, biossido di silicio e nitruro di silicio.
| Formula chimica | CF4 | Peso molecolare | 88 |
| N. CAS | 75-73-0 | EINECS n. | 200-896-5 |
| Punto di fusione | -184℃ | Punto di ebollizione | -128,1 ℃ |
| solubilità | Insolubile in acqua | Densità | 1,96 g/cm³（-184℃） |
| Aspetto | Gas incolore, inodore, non infiammabile e comprimibile | Applicazione | utilizzato nel processo di incisione al plasma per vari circuiti integrati e utilizzato anche come gas laser, refrigerante ecc. |
| Numero ID DOT | ONU1982 | NOME DI SPEDIZIONE DOT/IMO: | Tetrafluorometano, Gas Compresso o Refrigerante R14 |
| Classe di pericolo DOT | Classe 2.2 |
| Articolo | Valore, grado I | Valore, grado II | Unità |
| Purezza | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Altri fluorocarburi | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidità | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *altri fluorocarburi si riferiscono a C2F6,C3F8 | |||
Appunti
1) tutti i dati tecnici sopra indicati sono solo per riferimento.
2) è gradita una specifica alternativa per ulteriori discussioni.
