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Tetrafluoruro di carbonio
Il tetrafluorometano, noto anche come tetrafluoruro di carbonio, è il fluorocarburo più semplice (CF4). Ha un'elevatissima forza di legame grazie alla natura del legame carbonio-fluoro. Può anche essere classificato come aloalcano o alometano. A causa dei molteplici legami carbonio-fluoro e della più elevata elettronegatività del fluoro, il carbonio nel tetrafluorometano ha una significativa carica parziale positiva che rafforza e accorcia i quattro legami carbonio-fluoro, conferendogli un carattere ionico aggiuntivo. Il tetrafluorometano è un potente gas serra.
Il tetrafluorometano è talvolta utilizzato come refrigerante a bassa temperatura. Viene utilizzato nella microfabbricazione elettronica, da solo o in combinazione con l'ossigeno, come agente di attacco al plasma per silicio, biossido di silicio e nitruro di silicio.
| Formula chimica | CF4 | Peso molecolare | 88 |
| Numero CAS | 75-73-0 | Numero EINECS | 200-896-5 |
| Punto di fusione | -184℃ | Punto di ebollizione | -128,1℃ |
| solubilità | Insolubile in acqua | Densità | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Aspetto | Un gas incolore, inodore, non infiammabile e comprimibile | Applicazione | utilizzato nel processo di incisione al plasma per vari circuiti integrati e utilizzato anche come gas laser, refrigerante ecc. |
| Numero ID DOT | UN1982 | NOME SPEDIZIONE DOT/IMO: | Tetrafluorometano, gas compresso o refrigerante R14 |
| Classe di pericolo DOT | Classe 2.2 |
| Articolo | Valore, grado I | Valore, grado II | Unità |
| Purezza | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Altri fluorocarburi | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Acidità | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *altri fluorocarburi si riferiscono a C2F6,C3F8 | |||
Note
1) Tutti i dati tecnici sopra indicati sono da intendersi a titolo di riferimento.
2) Sono benvenute specifiche alternative per ulteriori discussioni.
