
| Vara | Tæknileg eign | ||
| Hreint köfnunarefni | Háhreinleiki köfnunarefnis | Ofurhreint köfnunarefni | |
| Köfnunarefni (N2) hreinleiki (rúmmálshlutfall)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99,9999 |
| Súrefni (O2) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Argon (Ar) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Vetni (H2) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Kolmónoxíð (CO) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Koltvísýringur (CO2) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Metan (CH4) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Vatn (H2O) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |