
| Vara | Tæknileg eign | ||
| Háhreinleiki xenon GB/T5828-2006 | Ofurhreint xenon | ||
| Hreinleiki xenóns (Xe) (rúmmálshlutfall)/10-2≥ | 99.999 | 99,9995 | 99,9999 |
| Köfnunarefni (N2) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
| Súrefni (O2) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 1,5(O2+Ar) | 0,5(O2+Ar) | 0,1 |
| Argon (Ar) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 0,05 | ||
| Vetni (H2) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
| Kolmónoxíð (CO) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05(CO+CO2) |
| Koltvísýringsinnihald (CO2) (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
| Metan (CH4) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
| Vatn (H2O) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
| Krypton (Kr) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
| Köfnunarefnisoxíð (N2O) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
| Flúoríð (C2F6) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
| Flúoríð (SF6) innihald (rúmmálshlutfall)/10-6≤ | Ekki til | Ekki til | 0,05 |
Notkunarsvið: aðallega notað í hálfleiðaraiðnaði, geimferðaiðnaði, rafmagnsljósgjafaiðnaði, læknismeðferð, rafmagnstómarúmi, rannsóknum á dökku efni, leysigeislum og öðrum sviðum