Vörur
Koltetreflúoríð
Tetraflúormetan, einnig þekkt sem koltetraflúoríð, er einfaldasta flúorkolefnið (CF4).Það hefur mjög mikinn bindistyrk vegna eðlis kolefnis-flúortengisins.Það er einnig hægt að flokka sem halóalkan eða halómetan.Vegna margra kolefnis-flúortengjanna og mestu rafneikvæðni flúors, hefur kolefnið í tetraflúormetani verulega jákvæða hlutahleðslu sem styrkir og styttir kolefni-flúortengin fjögur með því að veita viðbótar jónandi eiginleika.Tetraflúormetan er öflug gróðurhúsalofttegund.
Tetraflúormetan er stundum notað sem lághita kælimiðill.Það er notað í rafeindatækni örframleiðsla eitt sér eða í samsetningu með súrefni sem plasma etsefni fyrir kísill, kísildíoxíð og kísilnítríð.
| Efnaformúla | CF4 | Mólþungi | 88 |
| CAS nr. | 75-73-0 | EINECS nr. | 200-896-5 |
| Bræðslumark | -184℃ | Snilldarpunktur | -128,1 ℃ |
| leysni | Óleysanlegt í vatni | Þéttleiki | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Útlit | Litlaust, lyktarlaust, óeldfimt, þjappanlegt gas | Umsókn | notað í plasma ætingarferli fyrir ýmsar samþættar hringrásir, og einnig notað sem leysigas, kælimiðill osfrv. |
| DOT ID Number | UN1982 | DOT/IMO flutningsheiti: | Tetraflúormetan, þjappað eða kælimiðilsgas R14 |
| DOT hættuflokkur | Flokkur 2.2 |
| Atriði | Gildi, einkunn I | Gildi, einkunn II | Eining |
| Hreinleiki | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Önnur flúorkolefni | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Sýra | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *önnur flúorkolefni vísa til C2F6、C3F8 | |||
Skýringar
1) öll tæknigögn sem tilgreind eru hér að ofan eru til viðmiðunar.
2) önnur forskrift er velkomin til frekari umræðu.
