Vörur
Kolefnistetraflúoríð
Tetraflúormetan, einnig þekkt sem kolefnistetraflúoríð, er einfaldasta flúorkolefnið (CF4). Það hefur mjög mikinn bindingarstyrk vegna eðlis kolefnis-flúortengisins. Það má einnig flokka sem halóalkan eða halómetan. Vegna margra kolefnis-flúortengja og hæstu rafdrægni flúors, hefur kolefnið í tetraflúormetani verulega jákvæða hlutahleðslu sem styrkir og styttir fjögur kolefnis-flúortengi með því að veita aukinn jónískan eiginleika. Tetraflúormetan er öflug gróðurhúsalofttegund.
Tetraflúormetan er stundum notað sem lághitakælimiðill. Það er notað í örframleiðslu rafeindatækni eitt sér eða í samsetningu við súrefni sem plasmaetsandi efni fyrir kísill, kísildíoxíð og kísillnítríð.
| Efnaformúla | CF4 | Mólþungi | 88 |
| CAS-númer | 75-73-0 | EINECS nr. | 200-896-5 |
| Bræðslumark | -184℃ | Boling-punktur | -128,1 ℃ |
| leysni | Óleysanlegt í vatni | Þéttleiki | 1,96 g/cm³ (-184°C) |
| Útlit | Litlaust, lyktarlaust, óeldfimt, þjappanlegt gas | Umsókn | Notað í plasmaetsunarferlum fyrir ýmsar samþættar hringrásir og einnig notað sem leysigeisli, kælimiðill o.s.frv. |
| DOT auðkennisnúmer | Sameinuðu þjóðirnar 1982 | DOT/IMO sendingarheiti: | Tetraflúormetan, þjappað eða kælimiðilsgas R14 |
| Hættuflokkur DOT | Flokkur 2.2 |
| Vara | Verðmæti, einkunn I | Gildi, II. einkunn | Eining |
| Hreinleiki | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Önnur flúorkolefni | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Sýrustig | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *önnur flúorkolefni vísa til C2F6C3F8 | |||
Athugasemdir
1) allar tæknilegar upplýsingar sem tilgreindar eru hér að ofan eru til viðmiðunar.
2) Hægt er að ræða aðrar upplýsingar um forskriftir frekar.
