Tetrafluorometana, juga dikenal sebagai karbon tetrafluorida, adalah fluorokarbon (CF4) yang paling sederhana. Senyawa ini memiliki kekuatan ikatan yang sangat tinggi karena sifat ikatan karbon-fluorin. Senyawa ini juga dapat diklasifikasikan sebagai haloalkana atau halometana. Karena banyaknya ikatan karbon-fluorin, dan elektronegativitas fluorin yang tertinggi, karbon dalam tetrafluorometana memiliki muatan parsial positif yang signifikan, yang memperkuat dan memperpendek keempat ikatan karbon-fluorin dengan memberikan karakter ionik tambahan. Tetrafluorometana merupakan gas rumah kaca yang kuat.
Tetrafluorometana terkadang digunakan sebagai refrigeran suhu rendah. Zat ini digunakan dalam mikrofabrikasi elektronik, baik sendiri maupun dalam kombinasi dengan oksigen sebagai etsa plasma untuk silikon, silikon dioksida, dan silikon nitrida.
Rumus kimia | CF4 | Berat molekul | 88 |
Nomor CAS. | 75-73-0 | Nomor EINECS | Telepon 200-896-5 |
Titik lebur | -184℃ | Titik didih | -128,1℃ |
kelarutan | Tidak larut dalam air | Kepadatan | 1,96g/cm³(-184℃) |
Penampilan | Gas yang tidak berwarna, tidak berbau, tidak mudah terbakar, dan dapat dikompresi | Aplikasi | digunakan dalam proses etsa plasma untuk berbagai sirkuit terpadu, dan digunakan juga sebagai gas laser, pendingin, dll. |
Nomor ID DOT | PBB 1982 | NAMA PENGIRIMAN DOT/IMO: | Tetrafluorometana, Gas Terkompresi atau Refrigeran R14 |
Kelas Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
Barang | Nilai, kelas I | Nilai, kelas II | Satuan |
Kemurnian | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Fluorokarbon lainnya | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | ——— | ppmv |
Keasaman | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*fluorokarbon lainnya mengacu pada C2F6,C3F8 |
Catatan
1) semua data teknis yang ditunjukkan di atas adalah untuk referensi Anda.
2) spesifikasi alternatif diterima untuk diskusi lebih lanjut.