Տետրաֆտորմեթանը, որը նաև հայտնի է որպես ածխածնի տետրաֆտորիդ, ամենապարզ ֆտորածխածինն է (CF4):Այն ունի շատ բարձր կապի ուժ՝ ածխածին-ֆտոր կապի բնույթի պատճառով:Այն կարող է դասակարգվել նաև որպես հալոալկան կամ հալոմեթան:Ածխածին-ֆտոր բազմաթիվ կապերի և ֆտորի ամենաբարձր էլեկտրաբացասականության պատճառով տետրաֆտորմեթանի ածխածինը ունի զգալի դրական մասնակի լիցք, որն ամրացնում և կրճատում է չորս ածխածին-ֆտոր կապերը՝ ապահովելով լրացուցիչ իոնային բնույթ:Տետրաֆտորմեթանը հզոր ջերմոցային գազ է:
Տետրաֆտորմեթանը երբեմն օգտագործվում է որպես ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտ:Այն օգտագործվում է էլեկտրոնիկայի միկրոֆաբրիկացման մեջ միայնակ կամ թթվածնի հետ համատեղ՝ որպես սիլիցիումի, սիլիցիումի երկօքսիդի և սիլիցիումի նիտրիդի պլազմային փորագրիչ:
Քիմիական բանաձև | CF4 | Մոլեկուլային քաշը | 88 |
CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
Հալման ջերմաստիճանը | -184℃ | Բոլինգ կետ | -128,1℃ |
լուծելիություն | Ջրի մեջ չլուծվող | Խտություն | 1,96 գ/սմ³ (-184℃) |
Արտաքին տեսք | Անգույն, անհոտ, չհրկիզվող, սեղմվող գազ | Դիմում | օգտագործվում է պլազմայի փորագրման գործընթացում տարբեր ինտեգրալային սխեմաների համար, ինչպես նաև օգտագործվում է որպես լազերային գազ, սառնագենտ և այլն: |
DOT ID համարը | ՄԱԿ-ի 1982 թ | DOT/IMO ԱՌԱՔՄԱՆ ԱՆՎԱՆՈՒՄ. | Տետրաֆտորմեթան, սեղմված կամ սառնագենտ գազ R14 |
DOT վտանգի դաս | Դաս 2.2 |
Նյութ | Արժեք, I աստիճան | Արժեք, II աստիճան | Միավոր |
Մաքրություն | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Այլ ֆտորածխածիններ | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
Թթվայնություն | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*այլ ֆտորածխածինները վերաբերում են C2F6、C3F8 |
Նշումներ
1) վերը նշված բոլոր տեխնիկական տվյալները ձեր հղման համար են:
2) այլընտրանքային ճշգրտումը ողջունելի է հետագա քննարկման համար: