Tétel | Műszaki tulajdonság | ||
Tiszta nitrogén | Nagy tisztaságú nitrogén | Ultratiszta nitrogén | |
Nitrogén (N2) tisztaság (térfogatszázalék)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
Oxigén (O2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Argon (Ar) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | - | - | 2 |
Hidrogén (H2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Szén-monoxid (CO) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Szén-dioxid (CO2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Metán (CH4) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Víz (H2O) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |