Tétel | Műszaki tulajdonság | ||
Nagy tisztaságú xenon GB/T5828-2006 | Ultratiszta xenon | ||
Xenon (Xe) tisztasága (térfogatszázalék)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Nitrogén (N2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0,2 |
Oxigén (O2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 1,5 (O2+Ar) | 0,5(O2+Ar) | 0,1 |
Argon (Ar) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 0,05 | ||
Hidrogén (H2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Szén-monoxid (CO) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 (CO₂+CO₂2) |
Szén-dioxid (CO2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Metán (CH4) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Víz (H2O) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Kripton (Kr) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Dinitrogén-oxid (N2O) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (C2F6) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (SF6) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | Nem alkalmazható | Nem alkalmazható | 0,05 |
Alkalmazási területek: főként félvezetőiparban, repülőgépiparban, elektromos fényforrás-iparban, orvosi kezelésben, elektromos vákuumban, sötét anyag kutatásában, lézerben és egyéb területeken használják.