Pwodwi yo
Tetrafluorid kabòn
Tetrafluoromethane, ke yo rele tou tetrafluorid kabòn, se fluorokarbon ki pi senp (CF4).Li gen yon fòs lyezon trè wo akòz nati a nan lyezon kabòn-fluorin.Li kapab tou klase kòm yon haloalkane oswa halomethane.Akòz lyezon miltip kabòn-fluorin, ak elektwonegativite ki pi wo nan fliyò, kabòn nan tetrafluorometan gen yon chaj pasyèl pozitif ki ranfòse ak vin pi kout kat lyezon kabòn-fluorin lè li bay plis karaktè iyonik.Tetrafluoromethane se yon gaz ki gen efè tèmik ki pisan.
Tetrafluoromethane pafwa itilize kòm yon febrifuj tanperati ki ba.Yo itilize li nan mikrofabrik elektwonik pou kont li oswa nan konbinezon ak oksijèn kòm yon plasma plasma pou Silisyòm, diyoksid Silisyòm, ak nitrure Silisyòm.
| Fòmil chimik | CF4 | Pwa molekilè | 88 |
| Nimewo CAS | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Pwen k ap fonn | -184℃ | Boling pwen | -128.1℃ |
| solubilite | Ensolubl nan dlo | Dansite | 1.96g/cm³（-184℃） |
| Aparans | Yon gaz san koulè, san odè, ki pa ka pran dife, ki konpresib | Aplikasyon | itilize nan pwosesis grave plasma pou divès sikwi entegre, epi yo itilize tou kòm gaz lazè, febrifuj elatriye. |
| Nimewo ID DOT | UN1982 | DOT/IMO NON LIBRE: | Tetrafluoromethane, konprese oswa gaz frijidè R14 |
| Klas danje DOT | Klas 2.2 |
| Atik | Valè, klas I | Valè, klas II | Inite |
| Pite | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Lòt fluorokarbon | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Asidite | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| * lòt fluorokarbon yo refere a C2F6、C3F8 | |||
Nòt
1) tout done teknik ki endike anwo yo se pou referans ou.
2) spesifikasyon altènatif akeyi pou plis diskisyon.
