वस्तु | तकनीकी संपत्ति |
उच्च शुद्धता नीयन | |
नियॉन (ने) शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.999 |
हीलियम (He) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 6 |
हाइड्रोजन (एच2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1 |
ऑक्सीजन+आर्गन (ऑक्सीजन द्वारा परिकलित) (O2+Ar) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1 |
नाइट्रोजन (एन2) सामग्री (आयतन अंश) zz/10-6≤ | 2 |
कार्बन मोनोऑक्साइड (सीओ) सामग्री (मात्रा अंश)/10-6≤ | 0.2 |
कार्बन डाइऑक्साइड (सीओ2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.2 |
मीथेन (सीएच4) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.1 |
पानी (एच2ओ) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 2 |
कुल अशुद्धता सामग्री (मात्रा अंश)/10-6≤ | 10 |