टेट्राफ्लोरोमेथेन, जिसे कार्बन टेट्राफ्लोराइड भी कहा जाता है, सबसे सरल फ्लोरोकार्बन (CF4) है।कार्बन-फ्लोरीन बंधन की प्रकृति के कारण इसकी बंधन शक्ति बहुत अधिक है।इसे हैलोऐल्केन या हैलोमेथेन के रूप में भी वर्गीकृत किया जा सकता है।कई कार्बन-फ्लोरीन बांड और फ्लोरीन की उच्चतम इलेक्ट्रोनगेटिविटी के कारण, टेट्राफ्लोरोमेथेन में कार्बन में एक महत्वपूर्ण सकारात्मक आंशिक चार्ज होता है जो अतिरिक्त आयनिक चरित्र प्रदान करके चार कार्बन-फ्लोरीन बांड को मजबूत और छोटा करता है।टेट्राफ्लोरोमेथेन एक शक्तिशाली ग्रीनहाउस गैस है।
टेट्राफ्लोरोमेथेन का उपयोग कभी-कभी कम तापमान वाले रेफ्रिजरेंट के रूप में किया जाता है।इसका उपयोग अकेले इलेक्ट्रॉनिक्स माइक्रोफैब्रिकेशन में या सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड और सिलिकॉन नाइट्राइड के लिए प्लाज्मा वगैरह के रूप में ऑक्सीजन के साथ संयोजन में किया जाता है।
रासायनिक सूत्र | सीएफ4 | आणविक वजन | 88 |
CAS संख्या। | 75-73-0 | ईआईएनईसीएस नं. | 200-896-5 |
गलनांक | -184℃ | बोलिंग प्वाइंट | -128.1℃ |
घुलनशीलता | पानी में अघुलनशील | घनत्व | 1.96 ग्राम/सेमी³(-184℃) |
उपस्थिति | एक रंगहीन, गंधहीन, गैर ज्वलनशील, संपीड़ित गैस | आवेदन | विभिन्न एकीकृत सर्किटों के लिए प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रिया में उपयोग किया जाता है, और लेजर गैस, रेफ्रिजरेंट आदि के रूप में भी उपयोग किया जाता है। |
डॉट आईडी नंबर | यूएन1982 | डीओटी/आईएमओ शिपिंग नाम: | टेट्राफ्लोरोमेथेन, संपीड़ित या रेफ्रिजरेंट गैस R14 |
डॉट खतरा वर्ग | कक्षा 2.2 |
वस्तु | मूल्य, ग्रेड I | मूल्य, ग्रेड II | इकाई |
पवित्रता | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | पीपीएमवी |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | पीपीएमवी |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | पीपीएमवी |
अन्य फ्लोरोकार्बन | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
H2 | ≤1.0 | —— | पीपीएमवी |
अम्लता | ≤0.1 | ≤0.1 | पीपीएमवी |
*अन्य फ़्लोरोकार्बन C को संदर्भित करते हैं2F6,सी3F8 |
टिप्पणियाँ
1) ऊपर बताए गए सभी तकनीकी डेटा आपके संदर्भ के लिए हैं।
2) आगे की चर्चा के लिए वैकल्पिक विनिर्देश का स्वागत है।