ટેટ્રાફ્લોરોમેથેન, જેને કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, તે સૌથી સરળ ફ્લોરોકાર્બન (CF4) છે.કાર્બન-ફ્લોરિન બોન્ડની પ્રકૃતિને કારણે તેની બોન્ડિંગ તાકાત ખૂબ ઊંચી છે.તેને હેલોઆલ્કેન અથવા હેલોમેથેન તરીકે પણ વર્ગીકૃત કરી શકાય છે.બહુવિધ કાર્બન-ફ્લોરિન બોન્ડ્સ અને ફ્લોરિનની સૌથી વધુ ઈલેક્ટ્રોનગેટિવિટીને કારણે, ટેટ્રાફ્લોરોમિથેનમાં કાર્બન નોંધપાત્ર હકારાત્મક આંશિક ચાર્જ ધરાવે છે જે વધારાના આયનીય પાત્ર પ્રદાન કરીને ચાર કાર્બન-ફ્લોરિન બોન્ડને મજબૂત અને ટૂંકાવે છે.ટેટ્રાફ્લોરોમેથેન એક શક્તિશાળી ગ્રીનહાઉસ ગેસ છે.
ટેટ્રાફ્લોરોમેથેનનો ઉપયોગ ક્યારેક નીચા તાપમાનના રેફ્રિજન્ટ તરીકે થાય છે.તેનો ઉપયોગ એકલા ઇલેક્ટ્રોનિક્સ માઇક્રોફેબ્રિકેશનમાં અથવા સિલિકોન, સિલિકોન ડાયોક્સાઇડ અને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ માટે પ્લાઝ્મા ઇચેન્ટ તરીકે ઓક્સિજન સાથે સંયોજનમાં થાય છે.
રાસાયણિક સૂત્ર | CF4 | મોલેક્યુલર વજન | 88 |
CAS નં. | 75-73-0 | EINECS નંબર | 200-896-5 |
ગલાન્બિંદુ | -184℃ | બોલિંગ પોઈન્ટ | -128.1℃ |
દ્રાવ્યતા | પાણીમાં અદ્રાવ્ય | ઘનતા | 1.96g/cm³(-184℃) |
દેખાવ | એક રંગહીન, ગંધહીન, બિન-જ્વલનશીલ, સંકુચિત ગેસ | અરજી | વિવિધ સંકલિત સર્કિટ માટે પ્લાઝ્મા એચિંગ પ્રક્રિયામાં વપરાય છે, અને લેસર ગેસ, રેફ્રિજન્ટ વગેરે તરીકે પણ વપરાય છે. |
DOT ID નંબર | UN1982 | DOT/IMO શિપિંગ નામ: | ટેટ્રાફ્લોરોમેથેન, સંકુચિત અથવા રેફ્રિજન્ટ ગેસ R14 |
DOT હેઝાર્ડ ક્લાસ | વર્ગ 2.2 |
વસ્તુ | મૂલ્ય, ગ્રેડ I | મૂલ્ય, ગ્રેડ II | એકમ |
શુદ્ધતા | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
અન્ય ફ્લોરોકાર્બન | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
એસિડિટી | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*અન્ય ફ્લોરોકાર્બન C નો સંદર્ભ આપે છે2F6, સી3F8 |
નોંધો
1) ઉપર દર્શાવેલ તમામ તકનીકી ડેટા તમારા સંદર્ભ માટે છે.
2) વૈકલ્પિક સ્પષ્ટીકરણ વધુ ચર્ચા માટે આવકાર્ય છે.