Produtos
Tetrafluoruro de carbono
O tetrafluorometano, tamén coñecido como tetrafluoruro de carbono, é o fluorocarbono (CF4) máis sinxelo.Ten unha forza de unión moi elevada debido á natureza do enlace carbono-flúor.Tamén se pode clasificar como haloalcano ou halometano.Debido aos múltiples enlaces carbono-flúor e á maior electronegatividade do flúor, o carbono do tetrafluorometano ten unha carga parcial positiva significativa que fortalece e acurta os catro enlaces carbono-flúor proporcionando un carácter iónico adicional.O tetrafluorometano é un potente gas de efecto invernadoiro.
O tetrafluorometano úsase ás veces como refrixerante a baixa temperatura.Utilízase na microfabricación electrónica só ou en combinación con osíxeno como gravador de plasma para silicio, dióxido de silicio e nitruro de silicio.
| Fórmula química | CF4 | Peso molecular | 88 |
| Nº CAS | 75-73-0 | EINECS núm. | 200-896-5 |
| Punto de fusión | -184 ℃ | Punto de boling | -128,1 ℃ |
| solubilidade | Insoluble en auga | Densidade | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Aparición | Un gas incoloro, inodoro, non inflamable e compresible | Aplicación | usado no proceso de gravado por plasma para varios circuítos integrados e tamén como gas láser, refrixerante, etc. |
| Número de identificación DOT | UN1982 | NOME DOT/IMO DE ENVÍO: | Tetrafluorometano, gas comprimido ou refrigerante R14 |
| Clase de perigo DOT | Clase 2.2 |
| Elemento | Valor, grao I | Valor, grao II | Unidade |
| Pureza | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Outros fluorocarburos | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidez | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *Outros fluorocarbonos refírense a C2F6、 C3F8 | |||
Notas
1) Todos os datos técnicos indicados anteriormente son para a súa referencia.
2) a especificación alternativa é benvida para máis discusión.
