Article | Propriété technique | ||
Oxygène pur | Oxygène de haute pureté | Oxygène ultrapur | |
Oxygène (O2) pureté (fraction volumique)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Hydrogène (H2) teneur (fraction volumique)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Teneur en argon (Ar) (fraction volumique)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Azote (N2) teneur (fraction volumique)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Dioxyde de carbone (CO2) teneur (fraction volumique)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Teneur totale en hydrocarbures (fraction volumique) (calculée par le méthane)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Eau (H2Teneur en O) (fraction volumique)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Domaine d'application : principalement utilisé dans la préparation de mélanges de gaz standard, la recherche scientifique, la production de circuits intégrés et de dispositifs semi-conducteurs, et d'autres domaines avec des exigences élevées en matière de pureté de l'oxygène.