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Tétrafluorure de carbone
Le tétrafluorométhane, également appelé tétrafluorure de carbone, est le fluorocarbure le plus simple (CF4). Il possède une force de liaison très élevée grâce à la nature de la liaison carbone-fluor. Il peut également être classé comme haloalcane ou halométhane. Du fait des multiples liaisons carbone-fluor et de la plus forte électronégativité du fluor, le carbone du tétrafluorométhane possède une charge partielle positive significative qui renforce et raccourcit les quatre liaisons carbone-fluor en conférant un caractère ionique supplémentaire. Le tétrafluorométhane est un puissant gaz à effet de serre.
Le tétrafluorométhane est parfois utilisé comme réfrigérant à basse température. Il est utilisé en microfabrication électronique, seul ou en association avec l'oxygène, comme agent de gravure plasma pour le silicium, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium.
| Formule chimique | CF4 | Poids moléculaire | 88 |
| Numéro CAS | 75-73-0 | Numéro EINECS | 200-896-5 |
| Point de fusion | -184℃ | Point de Boling | -128,1℃ |
| solubilité | Insoluble dans l'eau | Densité | 1,96 g/cm³ (-184 °C) |
| Apparence | Un gaz incolore, inodore, ininflammable et compressible | Application | utilisé dans le processus de gravure au plasma pour divers circuits intégrés, et également utilisé comme gaz laser, réfrigérant, etc. |
| Numéro d'identification DOT | UN1982 | NOM D'EXPÉDITION DOT/IMO : | Tétrafluorométhane, gaz comprimé ou réfrigérant R14 |
| Classe de danger DOT | Classe 2.2 |
| Article | Valeur, grade I | Valeur, grade II | Unité |
| Pureté | ≥ 99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Autres fluorocarbures | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidité | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *les autres fluorocarbures font référence à C2F6、C3F8 | |||
Remarques
1) toutes les données techniques indiquées ci-dessus sont à titre indicatif.
2) Des spécifications alternatives sont les bienvenues pour une discussion plus approfondie.
