Tuote | Tekninen ominaisuus | ||
Puhdasta happea | Erittäin puhdasta happea | Ultrapuhdas happi | |
Happi (O2) puhtaus (tilavuusosuus)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Vety (H2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Argonin (Ar) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Typpi (N2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Hiilidioksidi (CO2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Kokonaishiilivetypitoisuus (tilavuusosuus) (laskettuna metaanin mukaan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Vesi (H2O) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Sovellusalue: käytetään pääasiassa standardikaasuseosten valmistuksessa, tieteellisessä tutkimuksessa, integroitujen piirien ja puolijohdelaitteiden tuotannossa sekä muilla aloilla, joilla on korkeat hapen puhtausvaatimukset.