Tuote | Tekninen ominaisuus | |
Argonin (Ar) puhtaus (tilavuusosuus)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
Vety (H2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
Typpi (N2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Happi (O2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Hiilimonoksidin (CO) ja hiilidioksidin (CO) kokonaispitoisuus2), (tilavuusosuus)/10-6≤ | Hiilimonoksidi: 0,1 Hiilidioksidi: 0,1 | 0,5 |
Hiilivetyjen kokonaismäärä (laskettuna metaanin mukaan) (tilavuusosuus) / 10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
Vesi (H2O) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Kokonaisepäpuhtauspitoisuus (tilavuusosuus) / 10-6≤ | 1 | 8 |
Vilja | Toimittajan ja kysyjän sopima | Toimittajan ja kysyjän sopima |
Huomautus: Nestemäisen argonin vesipitoisuus on mitattava kaasutuksen jälkeen. |
Käyttöalue: käytetään pääasiassa järjestelmän puhdistukseen, suojaukseen ja paineistukseen. Sitä voidaan käyttää myös kemiallisessa höyrypinnoituksessa, sputteroinnissa, plasma- ja aktiiviionietsauksessa, hehkuttamisessa ja muissa eri prosesseissa, sekä elektroniikkalaitteiden erikoiskaasuseoksissa.