محصولات
تترا فلوراید کربن
تترافلورومتان که به نام تترا فلوراید کربن نیز شناخته می شود، ساده ترین فلوروکربن (CF4) است.به دلیل ماهیت پیوند کربن و فلوئور، استحکام پیوند بسیار بالایی دارد.همچنین می توان آن را به عنوان هالوآلکان یا هالومتان طبقه بندی کرد.به دلیل پیوندهای متعدد کربن- فلوئور و بالاترین الکترونگاتیوی فلوئور، کربن موجود در تترافلورومتان دارای بار جزئی مثبت قابل توجهی است که با ایجاد ویژگی یونی اضافی، چهار پیوند کربن- فلوئور را تقویت و کوتاه می کند.تترافلورومتان یک گاز گلخانه ای قوی است.
گاهی اوقات از تترا فلورومتان به عنوان مبرد با دمای پایین استفاده می شود.در ریزساخت الکترونیکی به تنهایی یا در ترکیب با اکسیژن به عنوان اچ کننده پلاسما برای سیلیکون، دی اکسید سیلیکون و نیترید سیلیکون استفاده می شود.
| فرمول شیمیایی | CF4 | وزن مولکولی | 88 |
| شماره CAS | 75-73-0 | شماره EINECS | 200-896-5 |
| نقطه ذوب | -184 درجه سانتیگراد | نقطه بولینگ | -128.1 ℃ |
| انحلال پذیری | نامحلول در آب | تراکم | 1.96 گرم بر سانتی متر³ (-184 ℃) |
| ظاهر | گازی بی رنگ، بی بو، غیر قابل اشتعال و تراکم پذیر | کاربرد | مورد استفاده در فرآیند اچ پلاسما برای مدارهای مجتمع مختلف، و همچنین به عنوان گاز لیزر، مبرد و غیره استفاده می شود. |
| شماره شناسه DOT | سازمان ملل 1982 | DOT/IMO نام حمل و نقل: | تترافلورومتان، گاز فشرده یا مبرد R14 |
| کلاس خطر DOT | کلاس 2.2 |
| مورد | ارزش، درجه I | ارزش، درجه دوم | واحد |
| خلوص | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| سایر فلوئوروکربن ها | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| اسیدیته | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *سایر فلوئوروکربن ها به C اشاره دارند2F6、C3F8 | |||
یادداشت
1) تمام اطلاعات فنی ذکر شده در بالا برای مرجع شما هستند.
2) مشخصات جایگزین برای بحث بیشتر مورد استقبال قرار می گیرد.
