Üksus | Tehniline omadus |
Kõrge puhtusastmega neoon | |
Neoon (Ne) puhtus (mahuosa)/10-2≥ | 99.999 |
Heeliumi (He) sisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 6 |
Vesinik (H2) sisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 1 |
Hapnik + argoon (arvutatud hapniku järgi) (O2+Ar) sisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 1 |
Lämmastik (N2) sisu (mahuosa) zz/10-6≤ | 2 |
Süsinikmonooksiidi (CO) sisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 0.2 |
Süsinikdioksiid (CO2) sisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 0.2 |
Metaan (CH4) sisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 0.1 |
Vesi (H2O) sisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 2 |
Lisandite kogusisaldus (mahuosa)/10-6≤ | 10 |