Tooted
Süsiniktetrafluoriid
Tetrafluorometaan, tuntud ka kui süsiniktetrafluoriid, on lihtsaim fluorosüsinik (CF4).Sellel on süsinik-fluori sideme olemuse tõttu väga kõrge sidumistugevus.Seda võib klassifitseerida ka haloalkaaniks või halometaaniks.Mitme süsinik-fluori sideme ja fluori kõrgeima elektronegatiivsuse tõttu on tetrafluorometaanis sisalduval süsinikul märkimisväärne positiivne osalaeng, mis tugevdab ja lühendab nelja süsinik-fluori sidet, pakkudes täiendavat ioonilist iseloomu.Tetrafluorometaan on tugev kasvuhoonegaas.
Tetrafluorometaani kasutatakse mõnikord madala temperatuuriga külmutusagensina.Seda kasutatakse elektroonika mikrotootmises üksi või koos hapnikuga räni, ränidioksiidi ja räninitriidi plasmasöövitajana.
| Keemiline valem | CF4 | Molekulmass | 88 |
| CAS nr. | 75-73-0 | EINECS nr. | 200-896-5 |
| Sulamispunkt | -184 ℃ | Boling point | -128,1 ℃ |
| lahustuvus | Vees lahustumatu | Tihedus | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Välimus | Värvitu, lõhnatu, mittesüttiv, kokkusurutav gaas | Rakendus | kasutatakse mitmesuguste integraallülituste plasmasöövitamise protsessis ning kasutatakse ka lasergaasina, külmutusagensina jne. |
| DOT ID number | ÜRO 1982 | DOT/IMO TRANSPORT NIMI: | Tetrafluorometaan, suru- või külmutusgaas R14 |
| DOT ohuklass | Klass 2.2 |
| Üksus | Väärtus, I hinne | Väärtus, II hinne | Üksus |
| Puhtus | ≥ 99 999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Muud fluorosüsivesinikud | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Happelisus | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *teised fluorosüsivesinikud viitavad C-le2F6、C3F8 | |||
Märkmed
1) kõik ülaltoodud tehnilised andmed on teile viitamiseks.
2) alternatiivne spetsifikatsioon on edasiseks aruteluks teretulnud.
